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■ 利用雙彈簧作為對接微面鏡連接結構的微光學元件

專利申請序號 96200268
專利名稱  利用雙彈簧作為對接微面鏡連接結構的微光學元件
發明人 蔡健忠、黃奕澄
專利權所屬機關 明新科技大學
領域別 通訊與光電
適用產業別  微機電(MEMS)； 積體電路； 自動化生產； 影像顯示
專利資訊說明 本創作係提供一種利用雙彈簧作為對接微面鏡連接結構的微光學元件，主要係在二個微面鏡相鄰的相對內側底面邊緣分別接設一ㄇ型支撐件，再於該等ㄇ型支撐件的二側間分別連接一彈簧，而形成該等微面鏡間的連接結構；在該等微面鏡之側邊分別設置有一組水平式微陣列式熱致動器，並各接設一推擠臂而與該等ㄇ型支撐件的端頭接合；故當該等水平式微陣列式熱致動器致動驅動該等推擠臂向該ㄇ型支撐件方向作水平移動時，即推使該等ㄇ型支撐件移動，並迫使該等彈簧作弧度狀上翹動作，使該等微面鏡作出相對稱角度傾斜的出平面運動。
獲准國家 台灣
專利類別 新型
專利証號 第M315833號 (PDF下載)
國際分類號 G02B 5/00 (200601)
專利權開始日 2007/7/21
專利權截止日 2017/1/4
技術中文內容 第M315833號 (PDF下載)
市場潛力  頗適合相關產業擴大發展，成為商業化產品
技術應用範圍 應用積體電路相容微機電加工技術(COMS-MEMS)製作微抬升結構
技術承受單位應具備基礎  mems design house 或製造公司
技術形式 專利
授權形式 專利授權；技術移轉
關鍵字 CMOS-MEMS；光纖工程；微陣列式熱致動器；微光機電元件；抬升微結構

 

授權連繫資訊
連絡單位 明新科技大學
連絡人 蔡健忠 職稱 副教授
連絡電話 (03)5593142#3386 傳真 (03)5593142#3388
e-mail cctsai@must.edu.tw
連絡地址 新竹縣新豐鄉新興路1號

 

  

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