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■ 具有次微級超精細調整及定位功能的微光學元件

專利申請序號 95209786
專利名稱  具有次微級超精細調整及定位功能的微光學元件
發明人 蔡健忠、范振豪
專利權所屬機關 明新科技大學
領域別 通訊與光電
適用產業別  微機電(MEMS)； 積體電路； 自動化生產； 影像顯示
專利資訊說明 本創作係提供一種具有次微米級超精細調整及定位功能的微光學元件，主要係由兩組對接式微陣列式熱致動器作相對異方向排列於微面鏡之一側，且各接合一抬升臂而與該微面鏡共同樞接，使該兩組對接式微陣列式熱致動器致動驅動而互相推擠，則微面鏡該側產生出平面運動，此部份為抬升結構；再由另一組對接式微陣列式熱致動器樞接微面鏡之另一側作牽制動作，此部份為微調結構；即由該抬升結構與該微調結構共同配合作用，推使該微面鏡作傾斜角度變化之微抬升及角度微調定位動作；這其中，該抬升結構係具微米級抬升功能，該微調結構則具次微米級微調之功能，而該等對接式微陣列式熱致動器係〔2×N〕模式設置。
獲准國家 台灣
專利類別 新型
專利証號 第M305905號 (PDF下載)
國際分類號 G02B 5/00 (200601)
專利權開始日 2007/2/1
專利權截止日 2016/6/5
技術中文內容 第M305905號 (PDF下載)
市場潛力  頗適合相關產業擴大發展，成為商業化產品
技術應用範圍 應用積體電路相容微機電加工技術(COMS-MEMS)製作微抬升結構
技術承受單位應具備基礎  mems design house 或製造公司
技術形式 專利
授權形式 專利授權；技術移轉
關鍵字 微陣列式熱致動器；微面鏡；微光學元件；微調結構

 

授權連繫資訊
連絡單位 明新科技大學
連絡人 蔡健忠 職稱 副教授
連絡電話 (03)5593142#3386 傳真 (03)5593142#3388
e-mail cctsai@must.edu.tw
連絡地址 新竹縣新豐鄉新興路1號
 

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