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可應用在例如干涉儀器上的微光學元件

專利申請序號 94123316
專利名稱  可應用在例如干涉儀器上的微光學元件
發明人 蔡健忠、范振豪、陳仁杰、林培豪
專利權所屬機關 明新科技大學
領域別 通訊與光電
適用產業別  微機電(MEMS); 積體電路; 自動化生產; 影像顯示
專利資訊說明 本發明係提供一種可應用在例如干涉儀器上的微光學元件,主要係利用二組平行式抬升結構設置於微面鏡兩側而組成微光學元件,該等平行式抬升結構則係由二組平行式微陣列式熱致動器與一組對接式微陣列式熱致動器以及各接合一抬升臂所組成;該等微陣列式熱致動器各接合之抬升臂係共同樞接該微面鏡,故該等微陣列式熱致動器致動時,會驅使抬升臂上揚,而達成令該微面鏡垂直平抬或角度抬升之作用。
獲准國家 台灣
專利類別 發明
專利証號 第I271508號 (PDF下載)
國際分類號 G01B 9/02 (200601) , B81B 7/04 (200601)
專利權開始日 2007/1/21
專利權截止日 2025/7/10
技術中文內容 第I271508號 (PDF下載)
市場潛力  頗適合相關產業擴大發展,成為商業化產品
技術應用範圍 應用積體電路相容微機電加工技術(COMS-MEMS)製作微抬升結構
技術承受單位應具備基礎  mems design house 或製造公司
技術形式 專利
授權形式 專利授權;技術移轉
關鍵字 干涉儀;微機電加工;COMS-MEMS;微光學元件

 

授權連繫資訊
連絡單位 明新科技大學
連絡人 蔡健忠 職稱 副教授
連絡電話 (03)5593142#3386 傳真 (03)5593142#3388
e-mail cctsai@must.edu.tw
連絡地址 新竹縣新豐鄉新興路1號

 

 

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